微加工平台

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  • 实验室依托于江苏省第三代半导体与高能效器件重点实验室、江苏省固态照明与节能电子协同创新中心、半导体节能器件与材料国家-地方联合工程中心

--拥有4000平方米超净间及工艺线,半导体微加工设备超过80台套

--拥有全方位的半导体芯片研发支撑条件,涵盖材料外延生长、器件加工、材料物性分析、器件特性测试等完整能力。


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